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KLA-Tencor宣布推出針對光學和EUV 空白光罩的全新FlashScanTM產品線

本文作者:KLA-Tencor       點擊: 2017-08-17 13:48
前言:
2017年8月15日--今天,KLA-Tencor公司(納斯達克股票交易代碼:KLAC)宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩*檢測產品線。 自從1978年公司推出第一台檢測系統以來,KLA-Tencor一直是圖案光罩檢測的主要供應商,新的FlashScan產品線宣告公司進入專用空白光罩的檢驗市場。 光罩坯件製造商需要針對空白光罩的檢測系統,用於制程開發和批量生產過程中的缺陷檢測,此外,光罩製造商(“掩模廠”)為了進行光罩原料檢測,設備監控和進程控製也需要購買該檢測系統。 FlashScan系統可以檢查針對光學或極紫外(EUV)微影的空白光罩。
 

 
 “先進的微影技術從表徵良好的空白光罩開始。” KLA-Tencor的光罩和寬帶等離子晶圓檢測部總經理熊亞霖博士指出,“無缺陷的EUV光罩坯件極難製造,這不僅推高了生產成本,也推延了EUV光刻可能帶給下一代晶片製造的惠益。 我們全新的FlashScan空白光罩檢測儀可以在裸基板,吸收膜和光阻塗層上捕獲各種類型的缺陷。 此外,對比目前市場上的其他系統, FlashScan系統具有更高的產量和靈敏度,這將縮短空白光罩製造商和掩模廠的學習週期時間。”
 
利用KLA-Tencor晶圓缺陷檢測系統的激光散射技術,FlashScan系統可以滿足目前所有正在開發和生產的光學與EUV空白光罩對於靈敏度和檢測速度要求。採用光罩檢測市場獨特的三通道數據採集系統,該系統可以對各種類型的光罩坯件的缺陷進行檢測,尺寸測量和區分,例如在空白光罩製造或運輸期間可能出現在光阻上的針孔和掉落顆粒。
 
領先的掩模廠對高靈敏度、高產量和全類型的缺陷檢測系統顯示了濃厚的興趣,這證明了市場對該產品的需求。為了保證空白和圖案光罩製造商所需的優異性能和產量,FlashScan系統由KLA-Tencor全球綜合服務網絡 提供技術支持。有關新FlashScan產品系列的更多信息(包括當前型號的說明)請查閱FlashScan的網頁。
 
關於KLA-Tencor:
KLA-Tencor 公司是全球領先的製程控制及良率管理解決方案的設備供應商。該公司與全球的
客戶合作,開發最先進的檢測和量測技術,致力服務於半導體、LED 等相關納米電子工業。憑藉業界標準產品組合和世界一流的工程師科學家團隊,公司40餘年來持續為客戶打造卓越的解決方案。KLA-Tencor 公司的總部位於加利福尼亞州米爾皮塔斯市(milpitas),並在全球設有專屬的客戶運營和服務中心。更多相關信息,請訪問公司網站
http://www.kla-tencor.com/ (KLAC-P)。

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