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應用材料公司新一代電子束檢測系統提供業界最高的解析功能

本文作者:應用材料公司       點擊: 2016-07-12 11:23
前言:
2016年7月12日--應用材料公司宣布,該公司的新一代電子束檢測系統,提供了最高的解析度與影像品質,能夠讓頂尖的晶圓代工、邏輯產品、DRAM 和 3D NAND 客戶,在邁入先進製程時,達成最快速的生產力。
 

應用材料公司的 PROVision™ 系統是業界最先進的電子束檢測機台,承續了該公司在電子束缺陷檢視和量測方面,超過 20 年的頂尖專業知識所發展出的創新技術。這套系統是唯一提供1奈米解析度的電子束熱點檢測機台,能幫助客戶檢測出其他技術找不到的最高難度「致命性」缺陷,並監控製程的極限,以快速解決產量拉升問題,達成更高的良率。
 
應用材料公司副總裁暨影像與製程控制事業部總經理鮑伯•普爾瑪特 (Bob Perlmutter) 表示:「PROVision 系統是我們領導電子束產品組合的最新生力軍,也是應用材料公司成長策略不可或缺的關鍵。我們的差異化電子束量測與缺陷檢測技術是業界最佳技術,在搭配客戶的新檢測方法使用時,可讓 PROVision 系統不只用於研發精進,也能應用於生產環境。」
 
PROVision 系統的銷售動能漸增,出貨量已經超過十多台,包括來自龍頭晶圓代工廠與記憶體製造商的重複訂單。在 2016 年下半年,已另外排定出貨到現有及新增的客戶端。
 
SK 海力士 (SK hynix) 研發電子束檢測事業部權五長 (Oh-Jang Kwon) 博士表示:「PROVision 系統獨特的高解析度與大量取樣功能,有助於我們的先進製程的研發,縮短解決方案與上市的時間。」
 
相較於現有的電子束熱點檢測機台,PROVision 系統能提供快上三倍的生產力,並可在整個晶圓產品的生命週期期間,針對影響效能與良率的缺陷,保證能進行精確的製程特性分析、預測與檢測。PROVision 系統的加入讓應用材料公司的電子束量測與缺陷檢視產品及光學圖案晶圓檢測產品線,更加相得益彰。
 
應用材料公司名列全球前五百大企業,是提供材料工程解決方案的領導者,我們的設備用來製造幾近世界上每顆新式晶片與先進顯示器。我們以工業規模在原子層調整材料的專業,協助客戶將可能轉化成真。在應用材料公司,我們的創新能驅動科技,成就未來。欲瞭解更多訊息,請至
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